科技日报记者唐芳
11月29日，中科院研制的“超分辨光刻装备”通过验收。这个世界上首台用紫外光源实现了22纳米分辨率的光刻机，意义在于用便宜的光源实现较高的分辨率，用于一些特殊制造场景。光刻机不光是制造芯片用，一张平面材料想刻出繁复图案，都可以用光刻。光刻机相当于一台投影仪，光就是一把雕刻刀，在感光平板上“雕”出精细的线条图案。
使用深紫外光源的光刻机是主流，缺点是太昂贵；荷兰ASML垄断的极紫外光源的光刻机，更是贵到令人发指，一台3000万元，还要在真空下使用。中科院研制的22纳米光刻机采用紫外光汞灯，整机价格在百万元级到千万元级，加工能力则介于深紫外级和极紫外级之间，令人振奋。
中科院研制的这种光刻机擅长加工包括大口径薄膜镜在内的一系列纳米功能器件，对中国的遥感成像、生化痕量测量、特种表面材料等领域有重要意义。
中科院光电所的科学家杨勇这样解释其原理，拿一块金属片和非金属片亲密接触，界面上有一些乱蹦的电子；光投影在金属上，这些电子就有序地震荡，产生波长几十纳米的电磁波，可用来光刻。
